[14p-P22-1~15] CS.4 9.4&16.2 Code-sharing session

[14p-P22-15] Local Temperature Measurement by Using KFM

〇Yuhei Suzuki¹, Akito Oka¹, Hiroya Ikeda¹ (1.RIE, Shizuoka Univ.)

Keywords:KFM, Si, Seebeck coefficient

Kelvin-probe force microscopy (KFM)を用いたナノ構造熱電材料に対する非接触・非破壊のゼーベック係数測定技術の構築を試みている．本研究では，バルクSiを用いて，ゼーベック係数の評価で必要となる局所的な温度差をKFMで測定される表面電位から算出する手法について検討する．