2016年 第77回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(ポスター講演)

CS コードシェアセッション » CS.4 9.4熱電変換,16.2エナジーハーベスティングのコードシェアセッション

[14p-P22-1~15] CS.4 9.4熱電変換,16.2エナジーハーベスティングのコードシェアセッション

2016年9月14日(水) 16:00 〜 18:00 P22 (展示ホール)

16:00 〜 18:00

[14p-P22-15] KFMを用いた局所温度測定

鈴木 悠平1、岡 晃人1、池田 浩也1 (1.静大電研)

キーワード:KFM、シリコン、ゼーベック係数

Kelvin-probe force microscopy (KFM)を用いたナノ構造熱電材料に対する非接触・非破壊のゼーベック係数測定技術の構築を試みている.本研究では,バルクSiを用いて,ゼーベック係数の評価で必要となる局所的な温度差をKFMで測定される表面電位から算出する手法について検討する.