[14p-P9-1~18] 15.6 IV族系化合物（SiC）

[14p-P9-4] XPS測定を用いた積層Mo/C電極とSiCショットキー接合界面の特性評価

〇(M2)鈴木 智之¹、若林 整¹、筒井 一生¹、岩井 洋¹、角嶋 邦之¹、野平 博司² (1.東工大、2.東京都市大)

キーワード：炭化ケイ素、X線光電子分光、ショットキーダイオード