[15a-A21-1~11] 15.4 III-V族窒化物結晶

△ [15a-A21-10] GaN自立基板の赤外分光法による評価

〇鐘ヶ江 一孝¹、金子 光顕²、木本 恒暢²、堀田 昌宏²、須田 淳² (1.京大工、2.京大院工)

キーワード：窒化ガリウム、赤外分光法

自由キャリアのプラズマ振動と縦光学格子振動との結合モードを赤外反射分光法やラマン散乱分光法により測定することで、キャリア密度と移動度を推定できることが知られている。非破壊、非接触、短時間で測定できるので、ウエハの検査、面内分布評価などに活用できる。一般に用いられている赤外反射スペクトルの解析方法の検証を目的として、高品質GaN自立基板に対して赤外反射分光法による測定と解析を行ったので報告する。