[15a-A22-1~11] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[15a-A22-1] 微量酸素添加によるV添加ZnO透明導電膜の機能改善

〇川島 知之¹、鷲尾 勝由¹ (1.東北大院工)

キーワード：酸化亜鉛、バナジウム、透明導電膜

V添加ZnO（VZO）透明導電膜中のドナーは、Vが間接的に生成した浅い準位を形成する格子間亜鉛（Zn_i）のような欠陥であるが、その他にも酸素空孔（V_O）のような深い欠陥も生成しており、それらがVZOの電気伝導度や光透過率を劣化させている。本研究では、微量酸素混合スパッタリングガスを用いてVZO透明導電膜の機能改善を図り、可視光透過率と抵抗率を同時に改善する条件を見出した。