[15a-A22-1~11] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

△ [15a-A22-8] Ta:SnO₂エピタキシャル薄膜の輸送特性

〇福本 通孝¹、中尾 祥一郎²、重松 圭²、小川 大輔³、森河 和雄³、廣瀬 靖^1,2、長谷川 哲也^1,2 (1.東大院理、2.KAST、3.都産技研)

キーワード：輸送特性、移動度、イオン化不純物散乱