2016年 第77回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

合同セッションK「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」 » 合同セッションK 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[15a-A22-1~11] 21.1 合同セッションK 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

2016年9月15日(木) 09:00 〜 12:00 A22 (メインホールB)

阿部 友紀(鳥取大)

11:00 〜 11:15

[15a-A22-8] Ta:SnO2エピタキシャル薄膜の輸送特性

福本 通孝1、中尾 祥一郎2、重松 圭2、小川 大輔3、森河 和雄3、廣瀬 靖1,2、長谷川 哲也1,2 (1.東大院理、2.KAST、3.都産技研)

キーワード:輸送特性、移動度、イオン化不純物散乱