[15a-A24-1~10] 16.3 シリコン系太陽電池

[15a-A24-10] 多結晶シリコン中の鉄不純物の挙動

〇(M2)渡辺 富夫¹、伊野 裕司¹、吉田 豊¹ (1.静岡理工科大学)

キーワード：多結晶シリコン、メスバウア効果

多結晶シリコン太陽電池に混入する鉄不純物は，キャリアの再結合中心となることで発電効率を低下させることが知られている．我々は以前に、顕微メスバウア分光によって多結晶シリコン中の鉄不純物は結晶粒界のみならず粒内にも分布し，結晶粒ごとに異なる分布が観察できることを報告した．今回は，鉄故意汚染から拡散熱処理に至るプロセスを真空中で行うための装置の改良を実施したので報告する．また，表面酸化物を除去した多結晶シリコン中の鉄分布と格子欠陥分布との対応を評価するため，顕微メスバウア分光とEBSD観察を同一視野で行ったので合わせて報告する．