[15a-A24-1~10] 16.3 シリコン系太陽電池

[15a-A24-3] PV用単結晶シリコン加工における切削抵抗の結晶方位依存性

〇福田 哲生¹、青砥 貴裕²、吉原 信人²、水野 雅裕²、棚橋 克彦¹、白澤 勝彦¹、高遠 秀尚¹ (1.（国研）産総研、2.（国大）岩手大学院)

キーワード：太陽電池、シリコン、加工

単結晶シリコンからのウエハ加工は通常(100)面において行われるが、劈開面である(111)面に着目し両者における切削抵抗を比較測定した。(111)面加工の報告は過去にあるが、詳細な加工条件は明らかにされていない。(111)面を特定方向に加工することによって、切削抵抗を(100)面加工より小さくも大きくもできる。詳細は当日報告する。