[15a-A24-1~10] 16.3 シリコン系太陽電池

[15a-A24-8] n型CZシリコン太陽電池のプロセス起因酸素析出に対する成長条件の影響

〇小島 拓人¹、木下 晃輔¹、鈴木 涼太¹、中村 京太郎¹、小椋 厚志¹、大下 祥雄²、西島 英一³、正田 勲³、飯田 伸仁³、橘 昇二³ (1.明大理工、2.豊田工大、3.株式会社トクヤマ)

キーワード：ライフタイム、酸素析出物、n型Czシリコン

２種の条件で，炭素濃度の異なる原料を用いてn型Czシリコンからn-PERT太陽電池を作製し，熱プロセスの影響を調べた．開放電圧は炭素が低濃度なほど成長条件によって差があり，高炭素濃度（>5× 10¹⁷ cm^-3）では成長条件の影響は見られなかった．各プロセス後ごとのライフタイム測定から，ボロン拡散工程によって劣化したライフタイムが，開放電圧が高くでる成長条件の基板ではリン拡散工程で回復する傾向が見られた．