[15a-A26-1~11] 6.2 カーボン系薄膜

[15a-A26-11] 球表面へ形成したDLC膜に対するa-BCN:H膜の摩擦係数

〇河越 奈沙¹、山本 哲也²、大竹 尚登¹、赤坂 大樹¹ (1.東工大、2.日本触媒)

キーワード：ダイヤモンド状炭素膜、水素化アモルファスホウ化窒化炭素、摩擦係数

ダイヤモンド状炭素(DLC)膜を適応した摺動面の摩耗量低減の為に相手材への硬質膜の形成がある．本研究はプラズマCVD法でDLC膜をSUJ2球上に，水素化アモルファスホウ化窒化炭素(a-BCN:H)膜をSi(100)上に作製し，GD-OESで各膜の元素比を，BOD試験で摩擦係数を評価した．SUJ2球とa-BCN:H膜を用いた結果と比較してDLC膜を堆積させた球ではa-BCN:Hの炭素量の増加に伴い摩擦係数，摩耗量が減少した．膜の組成により摩擦係数を制御でき，摩耗量を低減出来ることが示唆された．