[15a-A31-1~13] 6.3 Oxide electronics

[15a-A31-3] Study on high performance TCO/Ag/TCO multilayer film

〇Hiromi Nakazawa¹, Hiroshi Ishii¹, Yuto Toshimori¹, Atsushi Saito¹ (1.Mitsubishi Materials Corp.)

Keywords:multilayer, transparent conducting oxide, Ag

タッチパネル用透明導電膜として適用が検討されているTCO/Ag/TCO積層膜について、10nm以下の膜厚でAgが連続となるTCOとAg合金の組み合わせや積層膜の構成を最適化する実験を行い、ZnO系のTCOと幾つかのAg合金の組み合わせで、電気的、光学的特性などが向上することを確認した。