[15a-A35-1~10] 9.4 熱電変換

[15a-A35-7] Ge/Au人工格子薄膜の再結晶化過程-ナノ結晶生成を目指して-

〇岡本 庸一^1,2、芳賀 陽介¹、宮﨑 尚¹ (1.防大材料、2.物材機構)

キーワード：ナノ結晶、人工格子、熱電

SiGeAu系人工格子薄膜の非常に高い熱電能の再現性を高めるために、その起源であるナノ結晶の生成条件を調べた。特に、再結晶化の初期過程で、Geナノ結晶ができる様子をGeAu二元系人工格子を作成して、検討した。その結果、成膜直後の状態でも再結晶化が進行して、Geナノ結晶ができている事が判明した。