[15a-A37-1~10] 2.1 Radiation physics and Detector fundamentals

[15a-A37-8] Current state of development of X-ray optics system using Silicon dry etching

〇Kasumi Nakamura¹, Yuichiro Ezoe¹, Kumi Ishikawa², Masaki Numazawa¹, Kazuma Takeuchi¹, Terada Masaru¹, Daiki Ishi¹, Maiko Fujitani¹, Yusuke Noda¹, Takaya Ohashi¹, Kazuhisa Mitsuda² (1.TMU, 2.ISAS)

Keywords:X-ray optical system, silicon drie etching

我々は ORBIS,GEO-X などの超小型衛星への搭載に向けて、シリコンドライエッチングを用いた独自の超軽量Ｘ線光学系の開発を行っている。これまでに世界で初めて本手法でのX線結像を実証している。課題はエッチングなどの製作工程で生じる配置誤差と反射鏡のうねりによる形状誤差である。本講演では、光学系の改善状況を最新のX線試験の結果と交えて報告する。