[15a-A37-1~10] 2.1 放射線物理一般・検出器基礎

[15a-A37-8] シリコンドライエッチングを用いた 4 インチ X 線光学系開発の現状

〇中村 果澄¹、江副 祐一郎¹、石川 久美²、沼澤 正樹¹、武内 数馬¹、寺田 優¹、伊師 大貴¹、藤谷 麻衣子¹、野田 悠祐¹、大橋 隆哉¹、満田 和久² (1.首都大、2.宇宙研)

キーワード：X線光学系、シリコンドライエッチング

我々は ORBIS,GEO-X などの超小型衛星への搭載に向けて、シリコンドライエッチングを用いた独自の超軽量Ｘ線光学系の開発を行っている。これまでに世界で初めて本手法でのX線結像を実証している。課題はエッチングなどの製作工程で生じる配置誤差と反射鏡のうねりによる形状誤差である。本講演では、光学系の改善状況を最新のX線試験の結果と交えて報告する。