[15a-B13-1~10] 12.3 機能材料・萌芽的デバイス

△ [15a-B13-10] 金と透明導電性酸化物の積層構造を用いたフレキシブル透明電極

〇神保 泰俊¹、松久 直司^1,2、甚野 裕明¹、ザーラー ピーター¹、横田 知之¹、染谷 隆夫¹ (1.東大工、2.アルプス)

キーワード：透明電極、フレキシブル、indium-tin oxide

生体にフィットするフレキシブルなデバイスには、低抵抗・高透過率かつフレキシブルな電極が必要不可欠である。本研究では、二層のindium-tin oxideに金の薄膜を挟んだITO-Au-ITO構造の電極を厚さ0.7µmのパリレン基板上に作成した。このプロセスは特段の加熱を伴わず、作成した透明電極は13.8 Ω/sq.と低い抵抗率を示した。