[15a-B2-1~8] 13.1 Si系基礎物性・表面界面・シミュレーション

[15a-B2-1] バッチ式湿式洗浄機のウエハ内部の流れ観察

〇宮崎 賢都¹、奥山 将吾¹、羽深 等¹、後藤 昭広² (1.横国大院工、2.プレテック)

キーワード：シリコンウエハ、湿式洗浄、水流

我々は、これまでにバッチ式シリコンウエハ湿式洗浄機において、垂直に水を噴出させる小型ノズルの設計を試みた。本研究では、そのノズルを洗浄槽に取付け、6枚のウエハを用いて流れの可視化実験を行った。特に、ウエハ内部の水の動きについて調べたので詳細を報告する。