[15a-B3-1~9] 13.2 探索的材料物性・基礎物性

[15a-B3-8] 単一原料の蒸着によるa-Si/BaSi₂積層構造の作製

〇原 康祐¹、Trinh Cham Thi²、黒川 康良²、有元 圭介¹、山中 淳二¹、中川 清和¹、宇佐美 徳隆² (1.山梨大クリスタル研、2.名大院工)

キーワード：バリウムシリサイド、真空蒸着、キャリア寿命

単一のBaSi₂原料を用いた2段階の真空蒸着により、a-Si/BaSi₂積層構造を作製する方法を見出した。a-Si層は、BaSi₂成膜後の残留原料の再加熱により堆積した。表面a-Si層のパッシベーション効果により、BaSi₂層の光励起キャリア寿命は増大した。