[15a-B4-1~13] CS.5 3.11フォトニック構造・現象，13.7ナノ構造・量⼦現象のコードシェアセッション

△ [15a-B4-8] 結合機械振動子における複数モードの同時フィードバック制御

〇太田 竜一¹、岡本 創¹、山口 浩司¹ (1.NTT物性研)

キーワード：機械振動子、複数モード、フィードバック制御

多数の機械振動子からなる空間分解能を持った高感度センサアレイが注目を集めている。フィードバック制御は機械振動子センサの検出感度を向上する手段として知られているが、多数の機械振動子には多数のフィードバック回路が必要になるという問題があった。我々は半導体ヘテロ構造を有する結合機械振動子において、単一のフィードバック回路で複数の振動モードを同時に制御することに成功した。