[15a-B4-1~13] CS.5 3.11&13.7 Code-sharing session

△ [15a-B4-8] Multi-mode feedback control in coupled mechanical resonators

〇Ryuichi Ohta¹, Hajime Okamoto¹, Hiroshi Yamaguchi¹ (1.NTT BRL)

Keywords:mechanical resonator, Multi-mode, Feedback control

多数の機械振動子からなる空間分解能を持った高感度センサアレイが注目を集めている。フィードバック制御は機械振動子センサの検出感度を向上する手段として知られているが、多数の機械振動子には多数のフィードバック回路が必要になるという問題があった。我々は半導体ヘテロ構造を有する結合機械振動子において、単一のフィードバック回路で複数の振動モードを同時に制御することに成功した。