[15a-B4-1~13] CS.5 3.11フォトニック構造・現象，13.7ナノ構造・量⼦現象のコードシェアセッション

[15a-B4-9] ３つのSiN機械共振器のパラメトリック強結合

〇岡本 創¹、シリング ライアン²、シュッツ ヘンドリック²、スドゥヒア ヴィヴィシェク²、ウィルソン ダルツィエル²、キッペンベルグ トビアス²、山口 浩司¹ (1.NTT物性基礎研、2.スイス連邦工科大学ローザンヌ校)

キーワード：機械共振器、結合

微小電気機械素子におけるコヒーレントフォノン操作は、フォノン転送に基づく論理演算などMEMSの新規応用につながる技術として注目される。この操作には機械共振器間の強結合が必要であるが、これまで３つ以上の機械共振器を強結合させた例はない。今回我々は、SiN機械共振器の高いQ値と電気的チューナビリティを基に、誘電的な応力変調を用いて３つの機械共振器をパラメトリックに強結合させることに成功したので報告する。