[15a-B7-1~14] 8.1 プラズマ生成・制御

[15a-B7-12] C₆₀イオン生成用低パワーマイクロ波源を用いたECRプラズマ生成

〇渡辺 拓人¹、大塚 拓郎¹、萩野 尚吾¹、津田 悠登¹、加藤 裕史¹ (1.阪大院工)

キーワード：プラズマ