[15a-B7-1~14] 8.1 プラズマ生成・制御

[15a-B7-14] 誘導結合型プラズマを用いて生成した水素ラジカルへの窒素の影響

〇(M2)堤 大耀^1,2、岡本 裕二^2,3、石垣 隆正¹、角谷 正友² (1.法政大、2.物材機構、3.筑波大)

キーワード：プラズマ