[15a-C32-1~12] 3.8 Optical measurement, instrumentation, and sensor

△ [15a-C32-10] High-Sensitive Stable Measurement System of Trace Moisture using Wavelength-Meter-Controlled Cavity Ring-Down Spectroscopy

〇Koji Hashiguchi¹, Daniel Lisak², Hisashi Abe¹ (1.NMIJ/AIST, 2.UMK)

Keywords:CRDS, trace moisture, humidity

ガス中の微量水分の高精度な測定を可能にする信頼性の高い測定方法としてキャビティリングダウン分光法（CRDS）が注目されている。現在開発中の測定装置では、波長計を用いてレーザー周波数の制御を行うことで、高フィネス共振器の使用を可能にし、高感度化を実現している。本装置は複雑な制御機構を必要とせず、長期安定測定の期待ができる。実際に長期測定を行い、検出感度pptレベルを達成したので報告する。