[15a-C32-1~12] 3.8 Optical measurement, instrumentation, and sensor

[15a-C32-5] Dual Wavelength Interferometry for Surface Step Height Measurement

〇Shouhei Munemura¹, Samuel Choi², Takamasa Suzuki¹, Osami Sasaki² (1.Graduate School of Science and Technology, Niigata Univ., 2.Department of Electrical and Electronics Engineering, Niigata Univ.)

Keywords:Dual Wavelength, Surface Step Height Measurement

本研究では、波長の違う2台の半導体レーザダイオードを用いた2波長合成光波によって測定範囲の広い段差形状計測及び段差間距離の計測を可能にする。本報告では2波長成分の強度比が干渉位相に与える影響について実験的に検討を行った。