[15a-C32-1~12] 3.8 光計測技術・機器

[15a-C32-5] 2波長合成レーザ干渉計測法による段差計測

〇宗村 章平¹、崔 森悦²、鈴木 孝昌¹、佐々木 修己² (1.新潟大院自然研、2.新潟大工)

キーワード：2波長、段差計測

本研究では、波長の違う2台の半導体レーザダイオードを用いた2波長合成光波によって測定範囲の広い段差形状計測及び段差間距離の計測を可能にする。本報告では2波長成分の強度比が干渉位相に与える影響について実験的に検討を行った。