[15a-D61-1~10] 11.4 アナログ応用および関連技術

[15a-D61-5] マイクロ波読み出し回路共振器のQ値と電極特性

〇山森 弘毅¹、入松川 知也^1,2、平山 文紀¹、佐藤 昭¹、神代 暁¹、中島 裕貴^1,2,3、石野 宏和⁴ (1.産総研、2.東大、3.宇宙航空研究開発機構、4.岡山大)

キーワード：マイクロ波多重読み出し、超伝導転移端センサ、窒化ニオブ

我々はアレー化した超伝導転移端センサ(TES)の信号を極低温で多重化し、1本の同軸ケーブルと数本のバイアス線で室温に信号を取り出し、室温半導体のFPGAで読み出すシステムを開発している。信号の多重化を行うために、検出素子ごとに周波数の異なる共振器を用いて、共振周波数の変化として読みだしているので、共振器のQ値が、読出回路の雑音性能等の性能向上に重要である。そこで、異なる電極材料（NbN、Nb）と基板材料（Si, サファイア）を用いて、薄膜の特性と共振器の無負荷Q値Quを比較検討し、サファイアウェハーを用いた単結晶NbN薄膜で高いQ値を得ることができた。