[15a-D63-1~8] 11.1 Fundamental properties

[15a-D63-3] Fabrication of high-T_c superconducting THz emitters by wet etching technique

〇Yuki Komori¹, Yuki Shibano¹, Hidetoshi Minami¹, Chiharu Watanabe¹, Takuya Katsuragawa¹, Hiroyuki Kubo¹, Kazuki Sakamoto¹, Taiga Tanaka¹, Takumi Yuasa¹, Kento Nakamura¹, Ryusei Ota¹, Genki Kuwano¹, Yuki Tanabe¹, Takanari Kashiwagi¹, Manabu Tsujimoto¹, Kazuo Kadowaki¹ (1.Tsukuba Univ.)

Keywords:terahertz, Josephson effect, high temperature superconductor

高温超伝導体Bi2212をメサ状に加工しc軸方向に直流電圧を印加することによって、テラヘルツ帯域の電磁波を発生させることができる。排熱性を高めた単独メサの作製にはこれまでFIBあるいは金属マスクを用いるドライエッチングが用いられてきた。本研究では加工の自由度の高いフォトリソグラフィー、ウェットエッチングを用いて単独メサを作製しテラヘルツ波発振の観測に成功した。本公演では発振の結果について詳細を述べ、議論する。