[15a-P3-1~13] 3.7 レーザープロセシング

[15a-P3-11] イットリア安定化ジルコニアセラミックス表面のフェムト秒レーザー誘起周期構造形成の楕円偏光依存性

〇欠端 雅之¹、屋代 英彦¹、大矢根 綾子²、伊藤 敦夫³、鳥塚 健二¹ (1.産総研　電子光技術、2.産総研　ナノ材料、3.産総研　健康工学)

キーワード：レーザーアブレーション、周期構造、偏光依存性

前回までイットリア安定化ジルコニアセラミックス(3Y-TZP)上のレーザー誘起周期構造形成（LIPSS）形成実験を行い、偏光に平行で周期が波長と同程度か波長より大きな縞構造の形成と、照射フルエンスとパルス幅に依存した周期の変化を報告した。今回、楕円偏光に対するLIPSS形状の依存性を調べた結果を報告する。