[15a-P3-1~13] 3.7 レーザープロセシング

[15a-P3-12] ホログラフィックデュアル偏光フェムト秒レーザー照射 を用いたデブリ除去

〇阿部 哲也¹、長谷川 智士¹、高橋 秀知²、早崎 芳夫¹ (1.宇大CORE、2.アイシン精機)

キーワード：フェムト秒レーザー、デブリ