[15a-P3-1~13] 3.7 レーザープロセシング

[15a-P3-2] 超臨界二酸化炭素雰囲気中レーザー穴あけ加工における自然対流の効果に関する理論的考察

〇(PC)吉木 啓介¹、伊藤 杏奈²、高御堂 美佑紀²、古田 裕正²、神谷 東志一²、井上 尚三¹ (1.兵県大、2.パナソニック デバイスＳＵＮＸ株式会社)

キーワード：超臨界流体、二酸化炭素、レーザー穴あけ加工

超臨界二酸化炭素雰囲気中においてアスペクト比100 を超える深穴加工が可能であることを発見したが，そのメカニズムは不明な点が多く，二酸化炭素の物性に基づいた定量的な考察が必要であった．そこで，超臨界二酸化炭素が深穴内部において極めて対流を起こしやすい流体であることに着目し，熱・流体力学による理論計算に基づいて超臨界二酸化炭素がアスペクト比100を超える深穴内でも対流による加工屑排出が可能であることを示した．