[15a-P7-1~10] 3.14 光制御デバイス・光ファイバー

[15a-P7-6] 3次元光インターコネクション用ポリマー縦型マッハツェンダ型光スイッチの作製

〇(M2)木村 優一¹、江間 絢生¹、松島 裕一²、石川 浩¹、宇高 勝之¹ (1.早大、2.GCS機構)

キーワード：3次元、ポリマー、光スイッチ

3次元光回路は、2次元と比較してより高密度・高機能性が期待される。我々はこれまでに縦型方向性結合器を用いた2×2、4×4ポリマー3次元光スイッチの評価を行ってきた。しかし、縦型方向性結合器は上下方向に1段当たり3~4 ㎛前後のレイヤー間接続しかできない。そこで我々は新たに高さ距離の自由度がある多モード干渉導波路(MMI)結合器を用いた縦型マッハツェンダ型光スイッチ(VMZ-OS)を提案し、基本的なスイッチング特性が得られたので報告する。