[15a-P9-1~20] 9.2 ナノワイヤ・ナノ粒子

[15a-P9-16] プラズマジェットCVD法によるシリコンナノ粒子の高速作製

〇永井 祐輔¹、細川 寛人¹、西田 哲¹、小宮山 正治¹、栗林 志頭眞¹ (1.岐阜大工)

キーワード：ナノ粒子

当研究室ではプラズマジェットCVD法を応用することで、シリコンナノ粒子を現段階で500mg/hrという高速作製することに成功している。しかし未だ粒径制御を行うには至っていないため、本研究では高い生産性を維持したまま、ナノ粒子の粒径制御を行うことを目的とする。本研究ではシラン流量と投入電力を変化させた際の粒子径や堆積量の推移を調べ、これらの関係性を明らかにしたので報告する。