[15a-P9-1~20] 9.2 Nanowires and Nanoparticles

[15a-P9-7] Fabricationg a QCM device with the nanostructures using the AAO template

〇Naoto Asai¹, Ito Takeshi¹, Shimizu Tomohiro¹, Shinguhara Shoso¹ (1.Kansai Univ.)

Keywords:nanostructures

水晶振動子マイクロバランス(QCM)センサは、リアルタイム測定可能、高感度、小型、安価であることから、ガスセンサやバイオセンサに利用されてきた。しかし、重量変化を検出するため、分子量の小さい物質を高感度に検出できない欠点がある。しかし、センサ電極上に任意の薄膜または構造を形成することで表面積を増加させ、センサ感度を向上させることができると考えられる。本研究では、水晶振動子電極上にナノ構造を形成し、その比表面積の増大によるセンサ感度の上昇を目指した。