2016年 第77回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

15 結晶工学 » 15.8 結晶評価,不純物・結晶欠陥

[15p-A23-1~20] 15.8 結晶評価,不純物・結晶欠陥

2016年9月15日(木) 13:15 〜 18:45 A23 (201B)

前田 貴弘(グローバルウェーハズ・ジャパン)、小島 拓人(明治大)、大野 裕(東北大)

18:00 〜 18:15

[15p-A23-18] 転位バーガースベクトル決定のための等価な面からの同時回折による放射光X線トポグラフィ

津坂 佳幸1、鶴丸 哲也1、松井 純爾2 (1.兵庫県大院物質理学、2.兵庫県大放射光ナノテクセンター)

キーワード:X線トポグラフィ、転位、シンクロトロン放射光