[15p-A25-1~17] 17.1 カーボンナノチューブ，他のナノカーボン材料

[15p-A25-16] DCメタンプラズマCVD法によるSi基板上ナノダイヤモンド合成に関する研究

〇内田 和希¹、小林 友樹¹、縄田 悠人¹、内藤 正路¹、碇 智徳²、長井 達三³、生地 文也³ (1.九工大院、2.宇部高専、3.九共大総研)

キーワード：カーボンナノ粒子、プラズマCVD、ナノダイヤモンド薄膜

これまで、メタン/水素混合ガスを原料とした低温プラズマを鉛直方向に柱状化し、これを高温Siウエハー表面に照射するとダイヤモンドが形成されることを報告してきた。今回は、プラズマシースにおけるナノダイヤモンド粒子合成と、これを利用した平坦なナノダイヤモンド薄膜合成を高温Si基板表面上で試みた。