[15p-A35-1~16] 9.4 熱電変換

△ [15p-A35-13] Si(111)基板上エピタキシャルβ-FeSi₂薄膜の熱電物性

〇谷口 達彦¹、坂根 駿也¹、青木 俊輔¹、奥畑 亮¹、渡辺 健太郎^1,2、鈴木 健之³、藤田 武志^2,4、澤野 健太郎⁵、中村 芳明^1,2 (1.阪大基礎工、2.CREST-JST、3.阪大産研、4.東北大、5.東京都市大総研)

キーワード：熱電、鉄シリサイド、薄膜