[15p-A35-1~16] 9.4 熱電変換

△ [15p-A35-15] ZnOナノワイヤ埋め込み構造の形成とその熱電特性

〇(D)石部 貴史¹、渡辺 健太郎^1,2、吉川 純³、藤田 武志^2,4、中村 芳明^1,2 (1.阪大院基礎工、2.CREST-JST、3.物材機構、4.東北大学)

キーワード：熱電材料、ナノワイヤ、酸化物半導体

ZnOは、酸化物の中では、出力因子が高く、可視域で透明であるため、透明熱電材料としての応用が期待される。しかし、産業利用するためには性能が不十分であり、出力因子の増大と熱伝導率の低減が求められる。我々は、実績のある高結晶性ナノ構造を導入することで、出力因子の増大と熱伝導率の低減の同時実現を狙う。今回、ZnOナノワイヤをZnO膜中に埋め込んだ構造を作製し、ナノワイヤが熱電性能に及ぼす効果を明らかにする。