[15p-B10-1~17] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術

[15p-B10-1] [13．半導体　分科内招待講演] フォトニクス集積化のためのMEMS

〇羽根 一博¹、佐々木 敬¹、Thubthimthong Borriboon¹ (1.東北大院工)

キーワード：MEMS、シリコンフォトニクス、集積化

MEMSの集積化は種々の産業分野で有用である．中でもSiフォトニクスとLSIおよびMEMSとの集積化は，それぞれの分野がSi技術に基づいて発停していることより，それらの集積化システムには期待が高い．本稿では，MEMSのアクチュエータ技術および異種材料集積技術に関して，フォトニクス集積化の2,3の話題について，我々の研究を中心に紹介する