[15p-B12-1~19] 3.12 ナノ領域光科学･近接場光学

[15p-B12-9] 半導体上金属グレーティングの光学特性解析

〇吉川 遼¹、島谷 省伍¹、角屋 豊¹、西田 宗弘¹ (1.広島大先端研)

キーワード：プラズモニクス、金属グレーティング

本研究では半導体基板上の金属グレーティングの光学特性を、数値解析法を用いて解析した。解析する構造の特徴としては、デバイス応用を意識したものになっている点である。この構造において生じる種々の現象について、それらの物理的要因を解明した結果を示す。