[15p-B5-1~19] 7.2 電子ビーム応用

[15p-B5-10] 表面拡散法によるナノピラミッド形成に伴う電界放出特性の変化

〇(D)浅井 泰尊¹、熊谷 成輝¹、村田 英一¹、六田 英治¹ (1.名城大)

キーワード：微小電子源、電界電子放出、電界イオン顕微鏡

これまで、我々は、貴金属を被覆し作られる単原子電子源(Single Atom Emitter, SAE)を研究してきた。前回の講演では、Auを使った表面拡散法で、鈍いW針の先端に、単原子幅の稜線と三原子終端を持ったナノピラミッドが形成可能であることを示した。現在、ナノピラミッド形成の有無を電子放出特性の変化から読み取ることを目的に実験を行っている。今回は、表面拡散法における加熱による貴金属原子の拡散、及びW針先端の構造変化に伴う電流電圧特性の変化を測定し、FIMで観察した原子構造との対応を検討した。