[15p-B5-1~19] 7.2 電子ビーム応用

[15p-B5-11] ミニマルファブを利用したスピント型フィールドエミッタアレイの試作

〇長尾 昌善¹、辰巳 憲之¹、村上 勝久¹、クンプアン ソマワン^1,2、原 史朗^1,2、後藤 康仁³ (1.産総研、2.ミニマルファブ、3.京大院工)

キーワード：フィールドエミッタアレイ、イメージセンサ、ミニマルファブ

耐放射線イメージセンサを目指して、マトリクス駆動のフィールドエミッタアレイの開発を行っている。これまでに画素サイズ50ミクロンを実現するための集束電極一体化技術と、1MGyを超える耐放射線性を報告してきた。実用化に向けてミニマルファブを利用してマトリクス駆動のFEAの作製を試み、ミニマルファブのマスクレス露光機を用いてボルケーノ構造のスピント型Ni FEAを試作することが出来たので報告する。