[15p-B5-1~19] 7.2 電子ビーム応用

△ [15p-B5-14] HEED-HARP撮像板の幾何学歪の改善

〇小幡 一智¹、岩崎 新吾¹、秋山 周哲² (1.パイオニア(株)、2.パイオニアマイクロテクノロジー(株))

キーワード：HEED、HARP、幾何学歪

我々は、パイオニア独自の平面冷陰極アレイであるHEEDに光電変換膜としてHARP膜を組み合せたHEED-HARP撮像板を報告してきた。この撮像板では、HARP膜の特徴である低ノイズ、高感度な画像が得られるが、画像周縁部に反時計回りの特異な幾何学歪が発生する。電子軌道計算により幾何学歪発生メカニズムを解析し、新たな制御電極を配置して電子軌道を修正することで幾何学歪を大きく低減できた。