[15p-B5-1~19] 7.2 Applications and technologies of electron beams

[15p-B5-19] Measurement of fogging electron with accelerating voltage in SEM

〇Yoshifumi Hagiwara^1,2, Taku Noda^1,2, Masatoshi Kotera¹, Raynald Gauvin² (1.Osaka Institute of Technology, 2.McGill University)

Keywords:scanning electron microscope, electron beam, charging phenomenon

SEMにおける帯電現象については多く議論されてきたが、照射部分の局所的な帯電のほかに、フォギング電子による大局的帯電が見られることがわかってきた。フォギング電子とは電子ビームが試料表面で反射され、対物レンズ底との間で多重衝突を起こし、ビーム照射点からcmオーダー以上に広がる電子である。本研究は、フォギング電子電流の空間分布を測定することによって、電子顕微鏡法に与える影響を定量化することを目的としている。