[15p-B5-1~19] 7.2 電子ビーム応用

[15p-B5-19] 走査電子顕微鏡内におけるフォギング電子の加速電圧変化

〇萩原 佳史^1,2、野田 拓^1,2、小寺 正敏¹、Raynald Gauvin² (1.大阪工業大学、2.McGill大学)

キーワード：走査電子顕微鏡、電子ビーム、帯電現象

SEMにおける帯電現象については多く議論されてきたが、照射部分の局所的な帯電のほかに、フォギング電子による大局的帯電が見られることがわかってきた。フォギング電子とは電子ビームが試料表面で反射され、対物レンズ底との間で多重衝突を起こし、ビーム照射点からcmオーダー以上に広がる電子である。本研究は、フォギング電子電流の空間分布を測定することによって、電子顕微鏡法に与える影響を定量化することを目的としている。