[15p-B5-1~19] 7.2 Applications and technologies of electron beams

[15p-B5-6] Dynamic Analysis of Sample Thickness using Real-Time Wave Field Reconstruction Method

〇(D)Takahiro Tamura¹, Yoshihide Kimura¹, Yoshizo Takai¹ (1.Osaka Univ.)

Keywords:Transmission Electron Microscopy, Wave Field Reconstruction, In-situ Observation

我々のグループではビデオレートで複素波動場を取得でき，さらに焦点位置の自動追尾と2回非点収差，コマ収差，3回非点収差の実時間補正が可能な実時間波動場再構成TEMシステムの開発をこれまでに行ってきた．今回は本システムを用いて詳細な試料構造情報を動的に取得することを目指し，カラム厚さ情報の取得を試みた結果について報告する．金薄膜の虚部像，実部像のコントラストを用いて解析を行った結果，試料厚さに対応したコントラストを得ることができた．