[15p-B8-1~14] CS.3 3.14光制御デバイス・光ファイバー，3.15シリコンフォトニクスのコードシェアセッション

[15p-B8-14] シリコングレーティングカプラの波長特性ばらつきに及ぼす製造誤差の影響

〇堀川 剛^1,2、牛田 淳¹、蘇武 洋平¹、志村 大輔¹、椎名 明美¹、徳島 正敏¹、鄭 錫煥¹、木下 啓藏¹、最上 徹¹ (1.PETRA、2.産総研)

キーワード：グレーティングカプラ、結合効率、スペクトルばらつき

ArF液浸露光技術を用いて300mm SOIウエハ上に作製したグレーティングカプラのO帯での光結合特性を評価し、結合損失2.99 ±0.21 dB (3σ), 中心波長1302.3 ±5.6 nm (3σ)の良好な特性と高い特性再現性を確認した。加工誤差と特性ばらつきには解析式に従う相関が認められ、高精度技術を用いて作製したグレーティングカプラにおいても、結合特性のばらつきは依然加工精度に起因していると考えられる。