[15p-D61-1~14] 11.5 接合，回路作製プロセスおよびデジタル応用

[15p-D61-14] 冷凍機実装したSFQ回路動作に及ぼすジュール熱の影響調査

〇宮嶋 茂之¹、山下 太郎¹、三木 茂人¹、寺井 弘高¹ (1.情報機構)

キーワード：単一磁束量子回路、冷凍機

単一磁束量子(SFQ)回路の実用化には冷凍機動作が必須であるが、回路規模の増大に伴い、回路の駆動に必要なバイアス電流による配線での発熱、回路自身の発熱等により動作マージンの低下が問題となっている。
本稿では冷凍機SFQ回路を実装し、ジュール熱がSFQ回路の動作に与える影響を系統的に評価した。実験により4bit シフトレジスタの動作マージンが、チップ内での発熱により減少していることを確認した。