[15p-D61-1~14] 11.5 Junction and circuit fabrication process, digital applications

△ [15p-D61-9] Demonstration of Double-Active-Layered AQFP Circuits Fabricated Using Double Gate Process

〇Takumi Ando¹, Naoki Tsuji¹, Fumihiro China¹, Naoki Takeuchi^2,3, Shuichi Nagasawa⁴, Mutsuo Hidaka⁴, Yuki Yamanashi^1,2, Nobuyuki Yoshikawa^1,2 (1.Yokohama Nat. Univ., 2.IAS, Yokohama Nat. Univ., 3.JST-PRESTO, 4.AIST)

Keywords:superconducting integrated circuits, QFP

我々は、超低消費電力で演算が可能なAQFP回路を研究している。ダブルゲートプロセスは、Nb 7層構造、2つの接合層を持つことが特徴であり、上側4層と下側4層を使って上下にAQFP回路をそれぞれ実装することができる。上下のセルを重ねて配置することによる集積度の向上が可能である。今回我々は、ダブルゲートプロセスを用いたダブルアクティブレイヤAQFP回路を設計し、動作実証を行った。