Si基板上での大面積ダイヤモンド単結晶膜の合成

13:30 〜 15:30

[15p-P11-12] Si基板上での大面積ダイヤモンド単結晶膜の合成

〇(M1)齋藤裕紀¹、山田遼太¹、一色秀夫¹ (1.電通大院理工)

キーワード：ダイヤモンド

ダイヤモンド成長時の窒素微量添加効果に関する研究。結果として、αパラメータの増加と高配向(100)面ダイヤモンドの形成を確認し、また、αパラメータの増加とともに生じる結晶性低下に対し、窒素流量変調が結晶性の向上に有効であることが分かった。