[15p-P11-1~12] 15.5 IV族結晶，IV-IV族混晶

[15p-P11-6] 伸張歪みSi/SiGe/Si(110)ヘテロ構造の表面モフォロジーに成長速度が及ぼす影響

〇(M2)佐藤 圭¹、宇津山 直人¹、山田 崇峰¹、有元 圭介¹、山中 淳二¹、原 康祐¹、澤野 憲太朗²、宇佐美 徳隆³、中川 清和¹ (1.山梨大クリスタル研、2.東京都市大総研、3.名古屋大)

キーワード：歪みSi、半導体